Sputtering coating Pe a osofaʻia e ni mea ninii malosi malosi le fogafale malo, e mafai ona maua le malosi o vaega i luga o le eleele ma sola ese mai luga e teu i luga o le mea'ai.Sputtering mea na amata ona faʻaaogaina i tekonolosi faʻapipiʻi i le 1870, ma faʻasolosolo ona faʻaaogaina i fale gaosi oloa ina ua maeʻa le 1930 ona o le siʻitia o le faʻaogaina o le fua.O mea fa'aoga masani e lua-pole sputtering o lo'o fa'aalia i le Ata 3 [Schematic diagram of two vacuum coating pole sputtering].E masani lava o mea e teuina e faia i totonu o se ipu-se taulaʻiga, lea e faʻamau i luga o le cathode.O le mea'ai e tu'u i luga o le anode e fa'asaga i luga o le fa'amoemoe, i ni nai senitimita le mamao mai le fa'amoemoe.A maeʻa ona pamu le faiga i se vacuum maualuga, e faʻatumuina i le 10 ~ 1 Pa gas (masani argon), ma o se voltage o le tele o afe volts o loʻo faʻaaogaina i le va o le cathode ma le anode, ma o le susulu o le susulu e gaosia i le va o le lua eletise. .O ion lelei e maua mai i le lafoaia e lele i le cathode i lalo o le gaioiga a se eletise eletise ma fetoʻai ma atoms i luga o le faʻatatau.O atoma taula'i e sola ese mai le pito i luga ona o le fetoaiga ua ta'ua o le sputtering atoms, ma o lo latou malosi o lo'o i le va o le 1 i le sefulu o eletise eletise.O atoms sputtered e teuina i luga o le mea'ai e fai ai se ata tifaga.E le pei o le faʻafefe o le faʻamalo, e le faʻatapulaʻaina le faʻafefeteina o le paʻu i le mea liusuavai o mea ata tifaga, ma e mafai ona faʻafefeteina mea faʻafefe e pei o W, Ta, C, Mo, WC, TiC, ma isi. auala, o lona uiga, o le kasa reactive (O, N, HS, CH, ma isi) e
fa'aopoopo i le kasa Ar, ma o le kasa fa'afo'i ma ona ion e tali atu i le atoma taula'i po'o le atoma ua mapu e fai ai se fa'afefiloi (pei o le oxide, nitrogen) Fa'aputuga, ma isi) ma fa'aputu i luga o le substrate.E mafai ona fa'aogaina se auala e fa'afefeteina ai le tele o taimi e teu ai le ata tifaga.O lo'o fa'apipi'i le substrate i luga o le eletise fa'aeleele, ma o lo'o fa'apipi'i le fa'amau fa'alava ile fa'afeagai.O le tasi pito o le sapalai eletise maualuga e faʻamauina, ma o le tasi pito e fesoʻotaʻi i se eletise ua faʻapipiʻiina ma se faʻamaufaʻailoga e ala i se fesoʻotaʻiga fetaui ma se DC poloka poloka.A maeʻa ona faʻafesoʻotaʻi le eletise maualuga, o le voltage maualuga e faʻaauau pea ona suia lona polarity.O le eletise ma ion lelei i totonu o le plasma na taia le sini faʻapipiʻi i le taimi o le afa lelei ma le afa le lelei o le voltage, i le faasologa.Talu ai o le eletise eletise e maualuga atu nai lo ion lelei, o le pito i luga o le faʻamaualuga e faʻapipiʻiina e le lelei le molia.Pe a o'o i le paleni malosi, o le sini o lo'o i se tulaga fa'aituau le lelei, ina ia fa'aauau pea iona lelei o lo'o oso i luga o le sini.O le faʻaogaina o le faʻaogaina o le magnetron sputtering e mafai ona faʻateleina le fua o le tuʻuina atu i le toetoe lava o se faʻatonuga o le tele pe a faʻatusatusa i le leai o se magnetron sputtering.
Taimi meli: Iul-31-2021