Ufu fa'afu'efu: E ala i le fa'avevelaina ma le fa'asa'oina o se mea e tu'u ai i luga o le fogā'ele'ele, e ta'ua o le fa'asuava'e.O lenei metotia na muai faatuina e M. Faraday i le 1857, ma ua avea ma se tasi o
e masani ona fa'aogaina metotia fa'alavalava i ona po nei.O lo'o fa'aalia i le Ata 1 le fa'atulagaina o meafaigaluega fa'alavalava.
O mea fa'amama e pei o metala, mea fa'afefiloi, ma isi mea e tu'u i totonu o se fa'alava pe tautau i luga o se uaea vevela e pei o le fa'apogai, ma le mea faigaluega e fa'apipi'iina, e pei o le u'amea, sima, palasitika ma isi mea, tu'u i luma o le. u'amea.A maeʻa ona aveese le faiga i se vacuum maualuga, e faʻavevela le fagu e faʻafefe ai mea o loʻo i totonu.O atoms poʻo molelaʻau o le mea ua faʻamama o loʻo teuina i luga o le pito i luga o le substrate i se faiga faʻafefe.O le mafiafia o le ata e mafai ona amata mai le faitau selau o angstroms i le tele o microns.O le mafiafia o le ata e faʻamoemoeina i le fua o le faʻafefe ma le taimi o le puna o le faʻafefe (poʻo le aofaʻi o le utaina), ma e fesoʻotaʻi ma le mamao i le va o le puna ma le substrate.Mo faʻapipiʻi vaega tetele, e masani ona faʻaaogaina se mea faʻasolosolo poʻo le tele o faʻapogai e faʻamautinoa ai le tutusa o le mafiafia o le ata.O le mamao mai le puna o le ausa i le substrate e tatau ona itiiti ifo nai lo le uiga saoloto o molelaula ausa i le kesi totoe e taofia ai le fetoaiga o molelaula ausa ma mole kesi totoe mai le mafua ai o aafiaga kemikolo.O le averesi o le malosi kinetic o molelaula ausa e tusa ma le 0.1 i le 0.2 electron volts.
E tolu ituaiga o puna fa'asao.
①Malaga faʻavevela faʻafefe: Faʻaaoga uʻamea faʻafefe e pei o le tungsten ma le tantalum e fai ai le vaʻa pepa poʻo le filament, ma faʻaoga le eletise eletise e faʻavevela ai le mea faʻafefe i luga aʻe poʻo totonu o le fagu (Ata 1 [Schematic diagram of evaporation coating equipment] vacuum coating) fa'apogai e masani ona fa'aaogaina e fa'amama ai mea e pei o Cd, Pb, Ag, Al, Cu, Cr, Au, Ni;
②Malaga faʻavevela faʻaoso maualuga: faʻaaoga le faʻaogaina o le taimi nei e faʻavevela ai le faʻafefe ma mea e faʻafefe;
③Electron beam punavai: talafeagai Mo mea e maualuga atu le vevela vevela (e le maualalo ifo i le 2000 [618-1]), o mea e faʻafefe e ala i le tuʻiina o mea i faʻaeletonika.
Pe a faatusatusa i isi auala e ufiufi ai le gaogao, e maualuga atu le fua o le fa'apalapala o le evaporative, ma e mafai ona fa'apipi'i i ata fa'aputuga fa'ameamea ma e le fa'afefeteina.
Ina ia mafai ona teuina se ata tifaga tioata tasi maualuga-mama, e mafai ona faʻaaogaina molecular beam epitaxy.O le molecular beam epitaxy device mo le fa'atupuina o gaAlAs tasi tioata tioata o lo'o fa'aalia i le Ata 2 [Schematic diagram of molecular beam epitaxy device vacuum coating].O le ogaumu vaalele ua faʻapipiʻiina i se puna molecular beam.Pe a faʻavevela i se vevela faʻapitoa i lalo ole vacuum ultra-maualuga, o elemene o loʻo i totonu o le ogaumu o loʻo tuʻuina atu i le mea faʻapipiʻi i totonu o se ala mole mole.O le substrate e faʻamafanafanaina i se vevela, o molelaʻau o loʻo teuina i luga o le substrate e mafai ona faimalaga, ma o tioata e tupu aʻe i le faasologa o le lattice tioata substrate.Molecular beam epitaxy e mafai ona fa'aogaina
maua se ata tioata tasi fa'afefiloi maualuga-mama ma le fua faatatau stoichiometric mana'omia.O le ata e tupu tele lemu O le saoasaoa e mafai ona pulea ile 1 tasi layer/sec.E ala i le faʻatonutonuina o le paʻu, o le ata tioata e tasi ma le faʻatulagaina manaʻomia ma le fausaga e mafai ona faia saʻo.Molecular beam epitaxy e masani ona faʻaaogaina e gaosia ai masini faʻapipiʻi faʻapipiʻi eseese ma ata tifaga faʻapipiʻi superlattice.
Taimi meli: Iul-31-2021